精度是工程测量中反映观测数据和测量成果质量的基本特征以及判断数据和成果是否满足应用需求的重要定量指标。精度衡量有不同方式，其中使用中误差和极限误差最为普遍。中误差定义为相同观测条件下得到的一组独立观测误差的平方和的均值的平方根，也称均方根差。中误差代表的是一组误差分布离散度的大小 ，而不是个别误差的大小 。极限误差则指的是一定观测条件下测量误差的绝对值不应超过的最大值。根据概率论正态分布理论，在大量同精度观测的一组误差中，误差绝对值落在2倍中误差值区间内的概率为95.5%。也就是说，绝对值大于2倍中误差的偶然误差出现的概率仅为4.5%，出现概率较小，可以视为统计上的小概率事件。大量测量生产实践表明，以2倍中误差作为极限误差是合理可行的。
对具体工程测量项目，其最终成果实际达到的精度需按一定的方式进行评价和验证，从而判断测量成果是否达到了预期的精度要求。精度评定和精度检测是两种最基本方式。精度评定通常与利用观测数据进行测量平差同步进行，平差后可获得相应的中误差值。精度检测有两者方法，一种是高精度检测，检测作业的精度高于原测量精度；另一种是同精度检测，检测作业的精度与原测量精度相当。两者计算中误差的公式不同，为保证中误差计算的可靠性，检测的较差数不宜少于20个。由精度评定或精度检测获得具体项目所需的平面坐标、高程或其他几何量 (如长度、高度、坐标差、高差、变形量、面积等)的中误差后，需要判定其是否符合项目技术设计或所用技术标准的要求。对于不符合要求的成果，需按GB 55018-2021《工程测量通用规范》第 2.3.4条第4款的规定处理。
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